台積電南京 12 吋廠下半年裝設機台,2018 年下半進入量產

作者 | 發布日期 2017 年 03 月 27 日 9:30 | 分類 晶片 , 材料、設備 , 處理器 follow us in feedly

根據中國媒體的報導,台積電南京有限公司總經理羅鎮球日前在 ICMC 2017 上表示,台積電 7 奈米製程預計 2017 年下半將為客戶 tape-out 生產。此外,他還透露,現階段 EUV 最新曝光機台在台積電已經可以達到連續 3 天,穩定處理超過 1,500 片 12 吋晶圓的狀態。根據時程,台積電南京廠預計 2017 下半年就要安裝生產機台,2018 上半年試產,2018 下半年正式投入量產。




報導中指出,羅鎮球指出,台積電做為全球最大晶圓代工廠,將會持續推進摩爾定律。目前台積電 10 奈米製程已順利量產,2017 年下半年 7 奈米製程也將正式 tape-out。而台積電所採用 ASML 最新 EUV 的型號為 NXE3350 的曝光機台,光源已經可以提高到 125 瓦,同時已達到連續 3 天處理 1,500 片 12 吋晶圓的水準。

羅鎮球還指出,未來智慧晶片將會滲透到個人、工業、零售、智慧城市領域,摩爾定律也將持續推動晶片走向低功耗、高性能、小面積。而事實上,半導體產業未來的挑戰不僅只有製程微縮而已,其他的挑戰還包括 EUV、整個電晶體的架構從 2D 轉變成 3D,以及整個環繞式 ALL Around Gate、Narrow-wide Device 等。

羅鎮球舉例,台積電目前在 3D 晶片領域開展了多條創新技術,包括 IC 系統整合 CoWos,將不同晶圓切割好再堆疊,單位體積上達到更高密度電晶體;目前此技術已在 GPU 晶片實現量產。這些都是台積電在運用普及計算中的技術創新。

目前位於南京浦口的工廠是台積電在中國的第一座 12 吋晶圓廠。羅鎮球透露,台積電南京廠預計 2017 下半年就要安裝生產機台,並且於 2018 上半年試產, 2018 下半年正式投入量產。

(首圖來源:科技新報攝)