台積電發展工業廢水再生技術，南科工程明年啟動

台積電積極發展工業廢水再生技術，預計於民國 110 年啟動南科園區工業廢水再生工程，導入工業再生水為晶圓製程用水，至 112 年每天將達 2 萬噸再生水。

台積電表示，內部不斷透過「開源」與「節流」並行的方針強化用水效率，採取水資源風險管理、拓展多元水資源及水污染防治技術開發三大水管理策略。

拓展多元水資源，台積電 104 年起積極發展再生水技術，成功降低廠內廢水水質相關因子，目前自產所得的再生水，不只達到半導體製程用水標準，排放水質也符合法規放流規定。

台積電今年進一步與南部科學園區管理局簽約，促建「台積電南科再生水廠」，預計明年啟動園區工業廢水再生工程，導入工業再生水為台積電晶圓製程用水。

台積電指出，初期規劃每天可供給再生水約 0.5 萬噸，112 年每天則將增加至 2 萬噸再生水。

台積電同時全力支持政府再生水政策，除提供政府再生水製程相關專業意見與推行經驗，並將採購再生水，預計 113 年每天將購買永康及安平兩處再生水廠生產的再生水共 4.7 萬噸。

（作者：張建中；首圖來源：台積電）