半導體材料分析廠商宜特科技宣布，成為台灣唯一接受台灣大學技術轉移、並具備原子探針斷層掃描儀 （Atom Probe Tomography，簡稱 APT） 試片製備能力的第三方實驗室，並本月正式啟動 APT針狀試片製備服務。這一突破性技術為半導體材料分析提供全新解決方案，特別針對 A14 製程 （14埃米） 等超先進製程，克服異質材料整合與立體化元件結構中的分析挑戰。
宜特科技表示，隨著半導體元件尺寸縮小至奈米級與埃米級，穿透式電子顯微鏡（TEM）逐漸面臨成分分析空間解析度和濃度偵測極限的局限，而 APT 的出現則為材料分析帶來全新視角。APT 不受光學繞射極限限制，能在次奈米級解析度下，精確還原樣品的三維原子結構，並提供 10 ppm 等級的成分分析能力，成為解決半導體研發與良率控制問題的利器。
宜特表示，APT 技術尤其適用於分析快速熱退火後的摻雜元素分布、立體化元件中的化學組成，以及異質材料整合的微觀結構問題。其高靈敏度和高空間解析度，使其成為晶圓代工大廠等全球領先半導體企業前瞻性研究的重要工具。
宜特進一步指出，APT 分析需要高度精密的試片製備技術，樣品需加工成針尖型，尖端曲率半徑小於 100 nm，才能保證精準的場蒸發效果。透過與臺灣大學技術轉移暨合作，宜特科技開發出高效的試片製備技術，可應用於薄膜、FinFET 半導體元件、MRAM 元件及光電材料等。這項技術的成功讓宜特成為台灣第一家具備 APT 試片製備能力的第三方實驗室，標誌著材料分析服務的全新里程碑。
(首圖來源：宜特科技提供)
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