
全球半導體年度盛會 SEMICON Taiwan 2025 第二日,濾能今年參展呈現其獨步全球的「AMC 4.0:次世代微污染控制整合方案」,這是一套涵蓋從廠務端、設備端到製程端的完整解決方案,董事長黃銘文表示,濾能推 GFT-SPR 技術與 AMC 全方位解決方案,預計明年放量挹注營運成長。
黃銘文表示,濾能今年成長動能主要來自於先進製程擴產所帶動的高等級 AMC 濾網需求,以及南科新廠量產後製造效率與供貨能力全面提升,使濾網出貨量與市場滲透率持續增加,預估隨著半導體大廠訂單持續增加,以及自有專利設計的新濾淨設備導入,下半年營運將可望逐季增溫。
黃銘文指出,濾能自主研發的 AMC 濾網產品,目前在 2 至 10 奈米的先進製程應用相當廣泛,由於半導體先進製程對 AMC 濾網的潔淨度與穩定性要求極高,只要獲得認可就能成為長期夥伴,由於濾能是全台少數「AMC 濾網+駐廠服務」的整合型供應商,下半年將逐步回升至 2022 年水準。
黃銘文分享,隨著全球半導體製程邁入次世代,製程環境的潔淨度已成為決定晶片良率與效能的關鍵因素,濾能打破傳統單點式過濾思維,透過核心的 GFT-SPR 反應單元過濾模組,並整合 MAU(Make-Up Air Unit)、FFU(Fan Filter Unit)到 TOOL 端的多階段過濾系統。
黃銘文說明,濾能實現從廠務端新風機組(Make-Up Air Unit)、生產線天花板(FFU)至高階製程機台(TOOL端)的無縫接軌,為客戶建構一個全廠無死角的超潔淨製程環境,並將以 GFT-SPR 技術與 AMC 全方位解決方案,守護半導體與高科技製程的潔淨環境。
黃銘文補充,隨著先進製程節點不斷往 2 奈米及以下演進,臨界尺寸(Critical Dimension, CD)日益縮小,製程環境對 AMC 污染的敏感度倍增,對微量污染物更是「零容忍」,而濾能的 SPR(Surface Plasma Reaction)技術能即時、有效地將難以去除的有害分子分解為無害物質。
黃銘文強調,濾能持續開發新型複合濾材與智慧過濾設備,成功打入多家國際頂級晶圓廠供應鏈,從單一產品的濾網供應商,加速轉型為半導體、光電、先進封測與第三代半導體等高端產業的解決方案夥伴,打造潔淨、高效且永續的先進製程未來。
(首圖來源:科技新報)