下世代高數值孔徑 EUV 售價逾 80 億元，屆時再掀資本支出大戰

作者 Atkinson | 發布日期 2021 年 12 月 22 日 15:00 | 分類晶圓 , 會員專區 , 材料、設備

半導體先進製程關鍵之一就是曝光設備，原因是一方面曝光設備佔所有先進製程製造設備成本 22% 左右，也佔製造工時 20% 左右。另一方面全球僅荷蘭商艾司摩爾 (ASML) 生產先進極紫外光曝光設備 (EUV)，EUV 又是進入 10 奈米以下先進製程的必備關鍵。半導體製造商要跨入先進製程，向 ASML 採購 EUV 曝光設備就必不可少。