上海工研院「超越摩爾」8 寸研發中試線將投運
近 5000 平方米的潔凈室，每一塊地板的孔洞數量，為了循環洗滌都經過精準計算。其中用來曝光和顯影的「黃光區」，潔凈度更高，1 分鐘內 1 立方英尺的空間大於 0.2 微米的微塵必須少於…
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TechNews 科技早報 – 20170522 |
作者
technewsdaily |
發布日期
2017 年 05 月 22 日 9:29 |
分類
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