台積電發展工業廢水再生技術,南科工程明年啟動

作者 | 發布日期 2020 年 04 月 01 日 8:50 | 分類 公司治理 , 晶圓 , 零組件 follow us in feedly


台積電積極發展工業廢水再生技術,預計於民國 110 年啟動南科園區工業廢水再生工程,導入工業再生水為晶圓製程用水,至 112 年每天將達 2 萬噸再生水。

台積電表示,內部不斷透過「開源」與「節流」並行的方針強化用水效率,採取水資源風險管理、拓展多元水資源及水污染防治技術開發三大水管理策略。

拓展多元水資源,台積電 104 年起積極發展再生水技術,成功降低廠內廢水水質相關因子,目前自產所得的再生水,不只達到半導體製程用水標準,排放水質也符合法規放流規定。

台積電今年進一步與南部科學園區管理局簽約,促建「台積電南科再生水廠」,預計明年啟動園區工業廢水再生工程,導入工業再生水為台積電晶圓製程用水。

台積電指出,初期規劃每天可供給再生水約 0.5 萬噸,112 年每天則將增加至 2 萬噸再生水。

台積電同時全力支持政府再生水政策,除提供政府再生水製程相關專業意見與推行經驗,並將採購再生水,預計 113 年每天將購買永康及安平兩處再生水廠生產的再生水共 4.7 萬噸。

(作者:張建中;首圖來源:台積電