半導體測試解決方案專業品牌蔚華科技攜手旗下數位光學品牌南方科技，共同推出業界首創的 JadeSiC-NK 非破壞性缺陷檢測系統，採用先進非線性光學技術對 SiC 基板進行全片掃描，找出基板內部的致命性晶體缺陷，用以取代現行高成本的破壞性 KOH（氫氧化鉀）蝕刻檢測方式，可提升產量並有助於改善製程。若以每個 SiC 晶錠需蝕刻 2 片基板來計算，JadeSiC-NK 可為具有 100 個長晶爐的基板廠省下每年 2.5 億元因蝕刻而損耗的成本。
蔚華科技表示，在現今環境永續意識抬頭的全球趨勢下，許多國家已制定電動車的階段性政策目標，SiC 晶片需求迅速爆發，尤其用於生產電動汽車使用的耐高溫高壓 SiC 功率半導體元件，供給量遠遠不及需求。
雖然，化合物半導體的基板材料品質決定下游晶片的可靠度及性能優劣，但 SiC 長晶速度較慢，且基板晶體缺陷只能以破壞性的 KOH 蝕刻方式進行抽樣檢測，使得 SiC 晶片製程成本居高不下。目前全球主要基板廠皆積極投資產能擴充並改善製程，加速產業布局以搶攻市占率。基板廠與元件廠若能在製程中對材料做全面非破壞性檢測，不僅可減少原本 KOH 蝕刻的有害化學溶液使用量，更能及早發現問題，進而有效改善製程、提升良率，進而在化合物半導體市場中展現絕佳優勢。
南方科技總經理王嘉業表示，目前市場上的光學技術只能檢測表面非晶體缺陷，JadeSiC-NK 系統採用先進的非線性光學技術，可對全片基板表面到特定深度進行掃描，反應晶體結構資訊，提供晶體缺陷密度及其分布狀況，讓客戶有效掌握基板品質，未來生產出的元件品質與效能也能更加穩定。
王嘉業強調，JadeSiC-NK 非破壞性缺陷檢測系統專注在穩定且有效地找出基板中的致命性晶體缺陷（BPD,TSD, MicroPipe, Stacking Fault），相較現行將 SiC 晶錠切片後取上下二片基板進行檢測的 KOH 蝕刻方式，可大幅節省檢測時間與基板成本。以每個長晶爐每月產出四個晶錠為例，採用 JadeSiC-NK 後，每個晶錠可省下二片基板成本（每片 6 吋基板 800 美元計），因此可推估一個長晶爐每年可省下台幣 250 萬元，若是具有 100 個長晶爐的基板廠，一年即可省下台幣 2.5 億元！此外，JadeSiC-NK也可針對同一個晶錠進行 100% 的晶圓檢查，進行詳細的晶錠分析和批次追踨分析，協助客戶在高技術門檻的化合物半導體市場加速製程及產量優化。
蔚華科技總經理楊燿州表示，考量經銷代理的不穩定性及追求更好的獲利結構，蔚華不斷加強投資自有產品開發以求推出更貼近客戶需求的解決方案，此次透過併購南方科技，加速自有產品的發展進程，讓蔚華從半導體封測設備跨足光學檢測，首先鎖定極具前景的化合物半導體材料缺陷檢測，對客戶、員工及投資人來說都將是非常振奮人心的新局。
楊燿州進一步指出，蔚華與南方科技自經銷合作以來就有互相壯大的默契，成立先進光學材料檢測實驗室讓獨特的光學檢測技術更快進入業界應用，透過客戶的反覆驗證，進而調整產品規格以滿足客戶需求。除了將非線性光學技術應用在本次推出的 JadeSiC-NK 外，未來也將加速將南方科技在 MicroLED、超穎材料、矽光子等先進光學檢測技術的商業化，持續加大研發能量有效整合集團資源，發揮綜效。
(首圖來源：蔚華科技提供)
科技新報粉絲團
加入好友
訂閱免費電子報
