ASML 執行長證實與馬斯克直接會談，TeraFab 晶片廠計畫總投資上看 1,190 億美元

ASML 執行長克里斯托福·福凱（Christophe Fouquet）20 日出席比利時安特衛普科技活動時表示，他已直接與馬斯克就 TeraFab 半導體計畫會談，並形容馬斯克「非常認真」看待這項計畫。

TeraFab為馬斯克3月啟動計畫，初始投資200億美元，目標是德州打造一座整合邏輯晶片、記憶體及先進封裝的超大型晶圓廠。4月英特爾加入並承諾提供14A製程。SpaceX之後於德州格賴姆斯縣申請蓋一座550億美元的半導體廠，若加計後續擴建，總投資金額可能高達1,190億美元。

福凱表示，TeraFab和星鏈（Starlink）等大型計畫將在數年內增加設備供應商的產能壓力，並警告全球半導體產業都可能面臨供不應求局面。

ASML是全球唯一EUV極紫外曝光機供應商，任何進軍先進製程的新進者都必須採購設備。福凱也透露，搭載High NA EUV技術的首批邏輯晶片將在數個月內問世；英特爾已率先在俄勒岡州完成設備驗收，可將電晶體密度提升約2.9倍。

美國國會《MATCH法案》擬全面限制ASML銷售DUV設備給中國，福凱也警告，ASML目前賣給中國的DUV沉浸式系統源自2015年，已落後先進製程八代，過度限制只會加速中國自研腳步。他以沙漠求生比喻：「如果告訴你再也得不到食物，你會多快學會自己種菜？這是生存問題。」

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（首圖來源：影片截圖）