採購 EUV 已無望,中國半導體企業擴大採購 DUV 提升成熟製程

作者 | 發布日期 2021 年 12 月 27 日 16:50 | 分類 晶圓 , 晶片 , 會員專區 line share follow us in feedly line share
採購 EUV 已無望,中國半導體企業擴大採購 DUV 提升成熟製程


外媒報導,中國半導體企業專注採用深紫外 (DUV) 曝光技術的半導體生產技術發展,原因是中國半導體企業受制國際協定,仍無法購買生產更先進半導體製程的極紫外 (EUV) 曝光設備。